Optimization of the etching parameters of the ion milling system Nordiko 3600 :
by Augusto, André Filipe Rodrigues
Authors: Freitas, Susana Isabel Pinheiro Cardoso de,--orientadora | Universidade Técnica de Lisboa.--Instituto Superior Técnico Published by : UTL, Instituto Superior Técnico, (Lisboa :) Physical details: xii, 82 p. : il. ; 30 cm Subject(s): Physics Engineering --Master's degree --Theses | Etching | Magnetic tunnel junction | Redeposition | Oxidation Year: 2007Online resources:
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https://fenix.ist.utl.pt/dissertacoes/28614
- Texto integral
| Item type | Location | Call number | Status | Date due |
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 Tese |
IST - Biblioteca do Tagus Park IST-TP-Depósito | 17-11.71872 (Browse shelf) | Apenas consulta local |
Dissertação para obtenção do Grau de Mestre em Engenharia Física Tecnológica
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