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Development of low roughness, low resistance bottom electrodes for tunnel junction devices :

by Aurélio, David Filipe Coelho de Almeida
Authors: Freitas, Susana Isabel Pinheiro Cardoso de,--orientadora | Universidade Técnica de Lisboa.--Instituto Superior Técnico Published by : UTL, Instituto Superior Técnico, (Lisboa :) Physical details: ix, 79 p. : il. ; 30 cm. Subject(s): Physics Engineering --Master's degree --Theses | Grains | Bottom electrode | Roughness | Thin film deposition | Annealing Year: 2007
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Tese Tese IST - Biblioteca do Tagus Park
IST-TP-Depósito
17-11.71928 (Browse shelf) Apenas consulta local

Dissertação para obtenção do Grau de Mestre em Engenharia Física Tecnológica

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